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制备铸造单晶硅的装置及方法专利

时间:2026-09-22    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 一种制备铸造单晶硅的装置,包括炉体、引晶组件、气体导流筒、安装在所述炉体中的隔热组件、放置在所述隔热组件内的坩埚及加热器,所述气体导流筒的一端穿插于所述隔热组件,另一端延伸至所述炉体外,所述引晶组件包括用于夹持籽晶的夹持头及用于驱动所述夹持头的驱动件,所述夹持头位于所述坩埚的上方。采用上述制备铸造单晶硅的装置制备铸造单晶硅的成本较低。本发明还提供一种制备铸造单晶硅的方法。 【专利类型】发明授权 【申请人】江苏协鑫硅材料科技发展有限公司; 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 【申请人地区】中国 【申请人城市】徐州市 【申请人区县】鼓楼区 【申请号】CN201210024456.2 【申请日】2012-02-03 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102534748B 【公开公告日】2014-11-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102534748B 【授权公告日】2014-11-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C30B11/00; C30B29/06 【发明人】武鹏; 胡亚兰 【主权项内容】一种制备铸造单晶硅的装置,包括炉体、安装在所述炉体中的隔热组件、放置在所述隔热组件内的坩埚及加热器,所述隔热组件包括环绕所述坩埚四周的侧隔热笼、分别设置于所述侧隔热笼两端的下隔热板及顶隔热板,其特征在于,所述制备铸造单晶硅的装置还包括引晶组件及气体导流筒,所述气体导流筒的一端穿插于所述隔热组件,所述气体导流筒的另一端延伸至所述炉体外,所述引晶组件包括用于夹持籽晶的夹持头及用于驱动所述夹持头的驱动件,所述夹持头位于所述坩埚的上方。 【当前权利人】江苏协鑫硅材料科技发展有限公司; 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 【当前专利权人地址】江苏省徐州市经济开发区杨山路88号; 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 【专利权人类型】有限责任公司; 有限责任公司 【统一社会信用代码】913203016811311440; 91320301573825288C 【引证次数】8.0 【自引次数】1.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】5

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