【摘要】 本发明公开了一种金属刀模板电解蚀刻机，包括机架、上电极、下电极和电解液收集槽，机架上还移动配合有平移架，上电极装连在平移架上，平移架上且位于上电极旁具有至少两个与供液装置连通的出液器，出液器的出液口均朝向上电极的底部及底面下方的空间，下电极的上表面上设有绝缘的工件支撑件，工件支撑件上具有液体过道，或者所述下电极的上表面上设有若干个绝缘的工件支撑条，相邻的工件支撑条之间的间隙构成液体过道，下电极内部或侧面具有通往下电极上表面的液流通道，液流通道与液体过道连通。本发明不产生烧蚀，能够满足大蚀刻深度、高均匀度、高精度金属刀模板蚀刻要求。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州正成机电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213133 江苏省常州市新北区罗溪镇空港工业区盛意路9号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201210130711.1 【申请日】2012-04-29 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102628177B 【公开公告日】2014-07-09 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102628177B 【授权公告日】2014-07-09 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C25F7/00; B23H3/00 【发明人】周丁政 【主权项内容】一种金属刀模板电解蚀刻机，包括机架(1)、上电极(7)、下电极(8)和电解液收集槽(9)，其中所述电解液收集槽(9)位于机架(1)上，所述下电极(8)位于电解液收集槽(9)中，其特征在于：a、所述机架(1)上还移动配合有平移架(11)，所述上电极(7)装连在平移架(11)上，所述平移架(11)上且位于上电极(7)旁具有至少两个出液器(7-1)，所述出液器(7-1)的出液口均朝向上电极(7)的底部及底面下方的空间，平移架(11)移动时，上电极(7)和出液器(7-1)能够从下电极(8)上方通过，b、所述下电极(8)的上表面上设有绝缘的工件支撑件(8-1)，工件支撑件(8-1)上具有液体过道(8-1-1)，或者所述下电极(8)的上表面上设有若干个绝缘的工件支撑条，相邻的工件支撑条之间的间隙构成液体过道(8-1-1)，c、所述下电极(8)内部或侧面具有通往下电极上表面的液流通道(8-2)，液流通道(8-2)与所述液体过道(8-1-1)连通。。 【当前权利人】常州正成机电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区罗溪镇空港工业区盛意路9号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411775413708P 【引证次数】9.0 【自引次数】1.0 【他引次数】8.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】6

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