【摘要】 本发明公开了一种射频电源闭环控制电路，包括入射电压处理电路，该入射电压处理电路将输入的入射波电压处理成与该入射波电压对应的入射功率信号；以及反射电压处理电路，该反射电压处理电路将输入的反射波电压处理成与该反射波电压对应的反射功率信号；以及输出功率控制电路，该输出功率控制电路的输入端分别连接入射电压处理电路和反射电压处理电路，输出功率控制电路根据获取的入射功率信号和反射功率信号以及功率设定值，动态调整输出控制射频电源的功率控制信号。本发明使射频入射输出功率始终与功率设定值保持一致，使输出功率达到±0.5%的精确度。 【专利类型】发明授权 【申请人】常州瑞思杰尔电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213000 江苏省常州市新北区创新科技园2号楼A306 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201210309301.3 【申请日】2012-08-27 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102830745B 【公开公告日】2014-05-07 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102830745B 【授权公告日】2014-05-07 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G05F1/66 【发明人】丁义国; 丁元凯 【主权项内容】射频电源闭环控制电路，其特征在于，包括入射电压处理电路，该入射电压处理电路将输入的入射波电压处理成与该入射波电压对应的入射功率信号；以及反射电压处理电路，该反射电压处理电路将输入的反射波电压处理成与该反射波电压对应的反射功率信号；以及输出功率控制电路，该输出功率控制电路的输入端分别连接入射电压处理电路和反射电压处理电路，输出功率控制电路根据获取的入射功率信号和反射功率信号以及功率设定值，动态调整输出控制射频电源的功率控制信号；所述入射电压处理电路包括第一硬件乘法器以及连接于该第一硬件乘法器输出端的第一输出增益调整电路。 微信 【当前权利人】常州瑞思杰尔电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区创新科技园2号楼A306 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411660812477H 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】6

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