【摘要】本发明涉及一种适于实现惰性气体闭路循环、溶媒回收及喷雾制粒的干燥系统，包括沸腾干燥主机，沸腾干燥主机包括依次上下密封连接的上筒体、沸腾室和下筒体；沸腾室底部设有床板，所述床板由两块板体构成，该两块板体的相邻边缘分别固定在彼此套设的转
【摘要】 本发明公开了一种用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物及其制备方法，所述用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物按质量百分比配置，硅溶胶：pH调节剂：活性剂：缓冲剂=90：6：2：2；所述制备方法如下，首先按比例取硅溶胶，然后向其加入pH调节剂，搅拌2min后，向混合液加入活性剂搅拌3min后，再继续加入缓冲剂，搅拌20min。本发明所述的一种用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物，能满足工业上对蓝宝石衬底片CMP精密加工的要求，本发明具有成本低、低粗糙、高速率、不污染环境及腐蚀设备的优点，有效节省了反应时间，提高了蓝宝石抛光液的抛光速率。 【专利类型】发明申请 【申请人】江苏天恒纳米科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】226000 江苏省南通市海安县城东镇东海大道(东)18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】南通市 【申请人区县】海安市 【申请号】CN201210508350.X 【申请日】2012-12-03 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103849320A 【公开公告日】2014-06-11 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C09G1/02 【发明人】顾小玲 【主权项内容】一种用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物及其制备方法，其特征在于：所述用于蓝宝石CMP的高浓度抛光组合物按质量百分比配置，硅溶胶：pH调节剂：活性剂：缓冲剂=90：6：2：2；所述制备方法如下，首先按比例取硅溶胶，然后向其加入pH调节剂，搅拌2min后，向混合液加入活性剂搅拌3min后，再继续加入缓冲剂，搅拌20min。 【当前权利人】江苏天恒纳米科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省南通市海安县城东镇东海大道(东)18号 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5
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