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大功率LED用蓝宝石基片超精密加工技术专利

时间:2026-06-29    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及光电子器件的加工方法技术领域,尤其是一种制备大功率发光二极管(LED)氮化镓(GaN)所用的蓝宝石衬底基片的超精密加工技术,该技术主要包含蓝宝石塑性域磨削技术、蓝宝石纳米级化学机械抛光技术;本发明还涉及蓝宝石衬底基片加工过程中使用的专用腐蚀液和抛光液,所述的专用腐蚀液由:硫酸、磷酸、硝酸构成;专用抛光液则由溶胶型SiO2、聚氧乙烯、橄榄油、醇胺以及去离子水构成。该技术能够制备无损伤层的、晶格完整的蓝宝石衬底,表面粗糙度达到0.2纳米以下,满足制造大功率发光二极管中氮化镓外延生长所需的蓝宝石衬底质量要求。 【专利类型】发明申请 【申请人】周海 【申请人类型】个人 【申请人地址】224051 江苏省盐城市希望大道9号盐城工学院机械学院025信箱 【申请人地区】中国 【申请人城市】盐城市 【申请号】CN201010172868.1 【申请日】2010-04-24 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102233541A 【公开公告日】2011-11-09 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】B24B37/00; H01L21/304 【发明人】周海 【主权项内容】大功率LED用蓝宝石基片超精密加工技术,其特征在于蓝宝石基片超精密加工技术由塑性域磨削技术、化学方法基片平整化处理技术、纳米级化学机械抛光技术组成。 【当前权利人】周海 【当前专利权人地址】江苏省盐城市希望大道9号盐城工学院机械学院025信箱 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族被引证次数】7

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