【摘要】 本实用新型公开了真空溅射带状导电薄膜的在线处理装置，在放料室(2)和溅射室(3)内排布连贯的输送架(4)，在放料室(2)内位于输送架(4)的两侧安装红外加热器(16)、离子源(5)，在溅射室(3)内位于输送架(4)的两侧安装气体发放器(8)、一组溅射靶(9)，放料室(2)、溅射室(3)内各放置一个深冷捕集器(6、7)和真空泵(12、13)。本实用新型的放料室与溅射室是隔离的，离子源、红外加热器、深冷捕集器安装在同一放料室，气氛易于控制，基材在进入溅射镀膜之前进行表面改性、除气、除湿、加热等处理，且对水汽进行捕集，以免对镀层产生影响，增强镀层结合力，降低导电薄膜的表面电阻。 【专利类型】实用新型 【申请人】淮安富扬电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】223001 江苏省淮安市经济开发区富准路62号 【申请人地区】中国 【申请人城市】淮安市 【申请人区县】清江浦区 【申请号】CN201020257966.0 【申请日】2010-07-13 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201778104U 【公开公告日】2011-03-30 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201778104U 【授权公告日】2011-03-30 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C14/34; C23C14/56 【发明人】傅青炫; 陈先锋; 马尔松; 夏慎领 【主权项内容】真空溅射带状导电薄膜的在线处理装置，其特征在于：真空室由隔板(1)间隔成放料室(2)和溅射室(3)，真空室内安装生产装置，生产装置包括输送架(4)、红外加热器(16)、离子源(5)、深冷捕集器(6、7)、气体发放器(8)和溅射靶(9)，在放料室(2)和溅射室(3)内排布连贯的输送架(4)，输送架(4)的首尾端都位于放料室(2)，在输送架(4)的首端安装放料辊(10)，在输送架(4)的尾端安装收料辊(11)，在放料室(2)内位于输送架(4)的两侧呈平面矩形安装离子源(5)，在离子源(5)之前安装红外加热器(16)，在溅射室(3)内位于输送架(4)的两侧呈平面矩形安装一组溅射靶(9)，溅射室(3)内位于溅射靶(9)的前方安装气体发放器(8)，放料室(2)、溅射室(3)内各放置一个深冷捕集器(6、7)和真空泵(12、13)。 【当前权利人】淮安富扬电子材料有限公司 【当前专利权人地址】江苏省淮安市经济开发区富准路62号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】9132089168295963X2 【被引证次数】3 【被他引次数】3.0 【家族被引证次数】3

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