【摘要】一种刻蚀设备和氮化硅的刻蚀方法，其中氮化硅的刻蚀方法包括：提供衬底，所述衬底表面依次形成有氧化硅层和氮化硅层；在所述氮化硅层表面形成光刻胶图形；以所述光刻胶图形为掩膜，刻蚀所述氮化硅直至暴露出氧化硅层，所述刻蚀工艺采用的腔室去除聚焦

【摘要】本发明涉及一种拉丝机的四轴装置，包括四轴主轴，特征是：采用在四轴主轴上设置轴承座，轴承座的一端与轴承座上盖连接，轴承座的另一端与轴承座下盖连接；在轴承座上盖内围绕四轴主轴设置轴承上钢圈和第一骨架油封，在轴承座上盖与轴承座之间设置第一

【摘要】本实用新型公开了一种立式磨头分度测量装置，其包括带有圆弧的滑板，滑板由蜗轮蜗杆机构驱动，滑板的圆弧表面贴有光栅尺，光栅尺连接读数头。本实用新型通过光栅尺和读数头的配合，利用测量位移值来间接测量角度值，成本低，精度高。【专利类型】实用

【摘要】本发明涉及一种带电作业供电卡具，其包括前卡具及后卡具；前卡具的一端设有第一安装槽及第一弯曲部；后卡具的一端设有第二安装槽及第二弯曲部；后卡具对应于设置第二安装槽的另一端部设有第三安装槽，后卡具对应于设置第三安装槽的端部凹设有连接滑槽

【摘要】洗衣机自动添加洗衣粉装置的密封结构，包括洗衣粉存储桶、桶盖以及与洗衣粉存储桶相通的出粉通道，其特征在于出粉通道内安装有分料螺杆，分料螺杆一端装有控制马达，另一端装有分料通道门和通道门堵，通道门堵上装有牵引支架，牵引支架与牵引器相连。

【摘要】本发明涉及一种机器人设备使用的机械操作臂，按照本发明提供的技术方案，所述机械操作臂，包括三根或三根以上铰接在一起的转臂，转臂呈中空状，位于前端的转臂的前端部固定有安装座，安装座上转动安装有旋转套，旋转套上固定安装有控制箱；位于后端的