【摘要】本发明公开一种晶圆代工机台超纯水回收方法及系统,对晶圆代工机台外输废水采用传感器检测其水质,经控制系统判断后控制阀门使相应管路导通,使符合超纯水回收标准的进入超纯水回收系统;否则进入废水处理系统。由控制系统根据传感器测得的数据控制阀
【摘要】 1.产品名称:净水器。2.产品用途:用于净化水。3.产品的形状为设计要点。4.产品的立体图最能表明设计要点。 【专利类型】外观设计 【申请人】江南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201030588444.4 【申请日】2010-10-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN301559581S 【公开公告日】2011-05-25 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN301559581S 【授权公告日】2011-05-25 【授权公告年份】2011.0 【发明人】张寒凝; 李强 【主权项内容】无 【当前权利人】江南大学 【当前专利权人地址】江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】1210000071780177X1
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