【摘要】 本发明公开一种低污染高成品率圆片级均匀尺寸玻璃微腔的制备方法，包括以下步骤：在硅圆片上刻有微槽形成的阵列，微槽之间刻有微通道相连，微槽的最小槽宽大于流道宽度的5倍，在其中的至少一个微槽内放置适量热释气剂，相应的用玻璃圆片键合所述多个微槽形成密封腔体，加热使玻璃软化，热释气剂受热释放出气体产生正压力，作用于通过微通道相连的多个微槽对应位置的软化后的玻璃形成具有均匀尺寸的球形微腔，冷却。本发明用微通道将各个相同微槽连接起来，因此其内部气压基本一致，形成的玻璃微腔尺寸比较均匀；微槽尺寸远大于微通道时，半径很小的微通道处由于具有较大的附加压力作用不易膨胀，因而微通道位置对应的玻璃仍然能够保持平整。 【专利类型】发明授权 【申请人】东南大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】214135 江苏省无锡市新区菱湖大道99号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010148406.6 【申请日】2010-04-16 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101817498B 【公开公告日】2011-11-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101817498B 【授权公告日】2011-11-16 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/70; H01L21/98; H01L23/28; B81C3/00 【发明人】尚金堂; 陈波寅; 徐超; 张迪 【主权项内容】一种低污染高成品率圆片级均匀尺寸玻璃微腔的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在硅圆片(2)上刻有相同微槽(1)形成的阵列，微槽之间刻有微通道(4)相连，微槽的最小槽宽大于微通道宽度的5倍，在其中的至少一个微槽内放置适量热释气剂(3)，与放置热释气剂的微槽相连接的微通道的宽度小于热释气剂粉末的粒径，使得热释气剂粉末不能进入所述与放置热释气剂的微槽相连接的微通道，相应的用玻璃圆片键合所述多个微槽(1)形成密封腔体，加热使玻璃软化，热释气剂受热释放出气体产生正压力，作用于通过微通道(4)相连的多个微槽(1)对应位置的软化后的玻璃形成具有均匀尺寸的球形微腔，冷却使玻璃凝固，得到圆片级均匀尺寸的玻璃微腔(5)。。 【当前权利人】东南大学 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新区菱湖大道99号 【统一社会信用代码】12100000466006770Q 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】6

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