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晶片的制作方法专利

时间:2026-06-21    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 微信 一种晶片的制作方法,包括对所述晶片的正面进行贴膜后进行研磨,然后揭除覆盖于晶片正面的贴膜,最后对背面进行蚀刻,以形成凹凸不平的背面,最后对所述背面蒸镀一层金属界面。本发明通过在对晶片的背面进行湿法蚀刻之前,将正面所覆盖的贴膜进行揭除,避免了正面贴膜的翘曲处对蚀刻溶液形成的钻蚀现象,解决了晶片背面处理后晶片正面表面颜色不一致的问题。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010213822.X 【申请日】2010-06-22 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102299052A 【公开公告日】2011-12-28 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L21/02; H01L21/306; H01L21/68 【发明人】陈斌; 刘江; 刘海波; 樊杨; 国天增 【主权项内容】一种晶片的制作方法,包括:提供形成有半导体器件的晶片,所述形成半导体器件的面为晶片正面,与正面相对的面为背面,其中正面具有贴膜;在晶片背面形成金属层;其特征在于,在晶片背面形成金属层之前还包括:揭除覆盖于晶片正面的贴膜;在揭除贴膜的晶片背面进行蚀刻。 微信 【当前权利人】无锡华润上华半导体有限公司; 无锡华润上华科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号; 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外商合资); 有限责任公司(港澳台法人独资) 【统一社会信用代码】91320214714903842J; 91320214739444443B 【引证次数】6.0 【被引证次数】9 【他引次数】6.0 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】9

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