【摘要】 公开了一种具有垂直电馈通的电容式压力传感器及制造方法，该传感设备能够使用具有垂直电馈通的微电机系统(“MEMS”)电容式压力传感器来检测压力。所述传感设备包括第一传感元件、第二传感元件和传感电路。在一个实施例中，所述第一传感元件布置在半导体裸片上并且配置用于在检测到压力时生成第一传感信号。所述第二传感元件也布置在与所述第一传感元件相邻的所述半导体裸片上，并且配置用于在传感环境状况时生成第二传感信号。所述传感电路能够响应所述第一传感信号和所述第二传感信号生成压力传感信号。 【专利类型】发明申请 【申请人】无锡感芯半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214072 江苏省无锡市滨湖区蠡园经济开发区滴翠路100号530大厦B栋704室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201010241062.3 【申请日】2010-07-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102235925A 【公开公告日】2011-11-09 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102235925B 【授权公告日】2015-07-29 【授权公告年份】2015.0 【IPC分类号】G01L1/14 【发明人】S·李 【主权项内容】一种传感设备，包括：第一传感元件，其布置在半导体裸片上并且配置用于在检测到压力时生成第一传感信号；第二传感元件，其布置在与所述第一传感元件相邻的所述半导体裸片上，并且配置用于在感测到环境状况时生成第二传感信号；以及传感电路，其耦合到所述第二传感元件，并且能够响应于所述第一传感信号和所述第二传感信号生成压力传感信号。 【当前权利人】无锡康森斯克电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市滨湖区滴翠路86-50401 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【引证次数】6.0 【被引证次数】7 【他引次数】6.0 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】47.0 【家族被引证次数】43

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