【摘要】本发明提供了一种接触孔的形成方法以及半导体结构,所述形成方法包括:提供半导体结构,所述半导体结构包括相邻的有源区以及隔离区,所述有源区以及隔离区的表面形成有层间介质层;在所述层间介质层的表面形成掩膜层;刻蚀所述掩膜层形成开口,所述开
【摘要】 本实用新型公开了一种水平式太阳电池湿制程设备及其传动机构,所述传动机构包括至少一个联轴器、一个输入轴、通过联轴器依次连接的至少一个传动轴以及用于支承传动轴的安装座;所述安装座上开设有用于装配传动轴的安装孔,所述安装座的下底面与安装孔的中心线之间的夹角大于零度小于10度;所述传动轴装配于所述安装座的安装孔内。结构简单,定位准确,能够实现传动轴的任意小角度倾斜且实现连贯准确的轴传动。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020204078.2 【申请日】2010-05-20 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201708177U 【公开公告日】2011-01-12 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201708177U 【授权公告日】2011-01-12 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L31/18; H01L21/677 【发明人】贺瑞勇; 黄勇; 黄洪杰 【主权项内容】一种水平式太阳电池湿制程设备的传动机构,其特征在于,包括至少一个联轴器、一个输入轴、通过所述联轴器依次连接的至少一个传动轴以及用于支承传动轴的安装座;所述安装座上开设有用于装配传动轴的安装孔,所述安装座的下底面与安装孔的中心线之间的夹角大于零度小于10度;所述传动轴装配于所述安装座的安装孔内。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 库特勒自动化系统(苏州)有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号; 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区淞北路27号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资); 有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】9132021372655423XN; 913205007344058670
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