【摘要】 本实用新型公开了一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，所述等离子刻蚀机包括：对太阳电池片进行刻蚀的刻蚀反应室；与刻蚀反应室连接并检测刻蚀反应室内反应气体流量的流量计；与刻蚀反应室连接并为刻蚀反应室提供电能的高频电源；与流量计和高频电源连接并控制流量计、高频电源的可编程逻辑控制器；所述异常检测系统包括：连接在所述PLC和刻蚀反应室之间用于检测刻蚀反应室内的辉光的光源检测装置。本实用新型能检测刻蚀反应室内的辉光，并进行显示或报警，提醒操作人员，从而避免刻蚀机在刻蚀反应室内辉光异常的情况下工作，而产生不良电池片制成成品片的情况。 【专利类型】实用新型 【申请人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 洛阳尚德太阳能电力有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214028 江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201020210491.X 【申请日】2010-05-27 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201725780U 【公开公告日】2011-01-26 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201725780U 【授权公告日】2011-01-26 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】H01L21/00; H01L31/18 【发明人】黄晓许; 苏世杰 【主权项内容】一种用于等离子刻蚀机的异常检测系统，所述等离子刻蚀机包括：对太阳电池片进行刻蚀的刻蚀反应室；与刻蚀反应室连接并检测刻蚀反应室内反应气体流量的流量计；与刻蚀反应室连接并为刻蚀反应室提供电能的高频电源；与流量计和高频电源连接并控制流量计、高频电源的可编程逻辑控制器PLC；其特征在于，所述异常检测系统包括：连接在所述PLC和刻蚀反应室之间用于检测刻蚀反应室内的辉光强度和/或辉光颜色的光源检测装置。 【当前权利人】无锡尚德太阳能电力有限公司; 洛阳尚德太阳能电力有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17-6号; 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区华夏路 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资); 有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】9132021372655423XN; 91410300780512110U 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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