【摘要】 本实用新型涉及一种氟化铵腐蚀液制备装置，其特征在于：它包括液氨储罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、过滤器(6)、成品桶(7)、第一氢氟酸桶(8)、第一纯化水桶(9)、水浴槽(10)、第二氢氟酸桶(11)和第二纯化水桶(12)。本实用新型氟化铵腐蚀液制备装置，将液氨汽化为氨气，再经二级水洗以除去金属与非金属杂质，然后，将经过处理的氨气通入吸收桶与氢氟酸溶液反应，并经过混合罐加入过量的氢氟酸溶液进行调配后，过滤分装制得氟化铵腐蚀液，其能达到MOS(金属-氧化物-半导体)标准，满足微电子领域使用要求。 ： 【专利类型】实用新型 【申请人】江阴市润玛电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214423 江苏省江阴市周庄镇欧洲工业园常青北路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】江阴市 【申请号】CN201020250973.8 【申请日】2010-07-01 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201768555U 【公开公告日】2011-03-23 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201768555U 【授权公告日】2011-03-23 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】B01J10/00; C23F1/24 【发明人】戈士勇 【主权项内容】一种氟化铵腐蚀液制备装置，其特征在于：它包括液氨储罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、过滤器(6)、成品桶(7)、第一氢氟酸桶(8)、第一纯化水桶(9)、水浴槽(10)、第二氢氟酸桶(11)和第二纯化水桶(12)；所述液氨储罐(1)出口与第一水洗桶(2)进口相连，所述第一水洗桶(2)出口与第二水洗桶(3)进口相连，所述第二水洗桶(3)出口与吸收桶(4)进口相连，所述吸收桶(4)出口与混合罐(5)进口相连，所述混合罐(5)出口与过滤器(6)进口相连，所述过滤器(6)出口与成品桶(7)相连；所述吸收桶(4)置于水浴槽(10)中，所述吸收桶(4)上连接有第一氢氟酸桶(8)和第一纯化水桶(9)；所述混合罐(5)上连接有第二氢氟酸桶(11)和第二纯化水桶(12)。 【当前权利人】江阴润玛电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区

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