【摘要】本发明属于离子束溅射镀膜技术，涉及对用于oxford离子束溅射镀膜机溅射靶材的改进。它包括一个圆片形的纯钛基体靶[1]，其特征在于，复合溅射靶材由基体靶[1]和镶嵌在基体靶[1]上的28个高纯钛片和高纯二氧化硅片和或高纯钽片组成。本
【摘要】 本实用新型的低温气瓶夹层真空度测试装置，包括真空泵、真空度测度仪、拉拔装置、橡胶连接管、三通管和低温截止阀，所述拉拔装置的出气管经橡胶连接管与三通管的一端连接，三通管的另外两端分别与低温截止阀和真空度测度仪的真空传感器连接，低温截止阀另一端与真空泵联接管连接。由于拉拔装置与低温截止阀之间的三通管的内腔空隙很小，使测得低温气瓶夹层真空度的误差很小，完全能控制在0.1%左右。具有结构简单合理、使用安全方便、测量误差小、能真实反映低温气瓶夹层的真空度，特别适合特种设备安全监督检验部门使用。 【专利类型】实用新型 【申请人】江苏省特种设备安全监督检验研究院常州分院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】213016 江苏省常州市龙江中路51号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】钟楼区 【申请号】CN201020591936.3 【申请日】2010-11-04 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201837502U 【公开公告日】2011-05-18 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201837502U 【授权公告日】2011-05-18 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】G01L21/00 【发明人】赵耀明; 李秀中; 毛小虎; 宁晔; 顾志军 【主权项内容】一种低温气瓶夹层真空度测试装置，包括真空泵、真空度测度仪和拉拔装置，其特征在于还包括橡胶连接管、三通管和低温截止阀，所述拉拔装置的出气管经橡胶连接管与三通管的一端连接，三通管的另外两端分别与低温截止阀和真空度测度仪的真空传感器连接，低温截止阀另一端与真空泵联接管连。 该数据由<>整理 【当前权利人】江苏省特种设备安全监督检验研究院 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市玉山镇虹桥路101号 【被引证次数】4 【被他引次数】4.0 【家族被引证次数】4
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