【摘要】 本发明属于离子束溅射镀膜技术，涉及对用于oxford离子束溅射镀膜机溅射靶材的改进。它包括一个圆片形的纯钛基体靶[1]，其特征在于，复合溅射靶材由基体靶[1]和镶嵌在基体靶[1]上的28个高纯钛片和高纯二氧化硅片和/或高纯钽片组成。本发明解决了金属和非金属的混合靶材难以制造的难题，可以方便地进行混合靶材混合比例的调节，缩短了膜层生产周期，降低了成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】中国航空工业第六一八研究所 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】710065 陕西省西安市电子一路92号 【申请人地区】中国 【申请人城市】西安市 【申请人区县】雁塔区 【申请号】CN200810075544.9 【申请日】2008-05-27 【申请年份】2008 【公开公告号】CN106342099B 【公开公告日】2011-06-08 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN106342099B 【授权公告日】2011-06-08 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23C14/00; C23C14/14; C23C14/46 【发明人】陈帛雄; 单凡; 李县洛; 张爱民 【主权项内容】1.用于oxford离子束溅射镀膜机的复合溅射靶材，包括一个圆片形的纯钛基体靶[1]，其特征在于，复合溅射靶材由基体靶[1]和镶嵌在基体靶[1]上的28个高纯钛片和高纯二氧化硅片和/或高纯钽片组成； (1)在基体靶[1]上有28个相同的台阶孔，每个台阶孔的大直径孔的直径D3＝20～20.2mm，每个台阶孔的小直径孔为M3的螺纹通孔，每个台阶孔大直径孔的深度h＝2～2.1mm；上述28个台阶孔由4个定位台阶孔[2a]和24个行星台阶孔[2b]组成，过4个定位台阶孔[2a]中心的定位圆周[3]与基体靶[1]同心，4个定位台阶孔[2a]沿定位圆周[3]均布，定位圆周[3]的直径D1＝143～145mm；在每个定位台阶孔[2a]的周围有一个与该定位台阶孔[2a]同心的、直径为D2＝74～76mm的行星圆周[4]，6个行星台阶孔[2b]沿行星圆周[4]均布，其中有两个行星台阶孔[2b]位于过该定位台阶孔[2a]中心的基体靶[1]的直径上； (2)高纯钛片、高纯二氧化硅片和高纯钽片为结构相同的圆片，其厚度为h，其直径D4＝D3-0.1mm，其中心孔的直径D5＝3.4～3.5mm，在中心孔的一侧有容纳M3沉头螺钉[5]沉头的锥形孔；高纯钛片和高纯二氧化硅片和/或高纯钽片镶嵌在基体靶[1]上的28个台阶孔内，通过纯钛制成的沉头螺钉[5]固定在台阶孔内。 【当前权利人】中国航空工业第六一八研究所 【当前专利权人地址】陕西省西安市电子一路92号 【被引证次数】2 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】2

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