【摘要】本实用新型公开一种纱面顶紧辊螺套调节装置，其包括分别设置于顶紧辊两侧的气缸安装板以及分别设置于气缸安装板上的气缸，气缸的输出轴端部连接有顶紧辊调节装置，该顶紧辊调节装置的另一端连接顶紧辊。本实用新型的优点在于方便调节顶紧辊对布面的顶
【摘要】 本发明提供一种湿法刻蚀监控方法，包括如下步骤：第一步、用印刷或喷涂的方法在硅片表面的掩膜区制备出非掩膜区图形；第二步、把非掩膜区图形部分的掩膜刻蚀形成非掩膜区；第三步、用四探针探头测量非掩膜区的方块电阻，非掩膜区的方块电阻的阻值为90～160Ω。本发明利用在掩膜区挖出一定区域的非掩膜区，监控该非掩膜区的方块电阻来控制刻蚀工艺点，本发明可以使工艺控制有依据，方便对刻蚀过程的控制。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010620680.9 【申请日】2010-12-31 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102130214A 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【IPC分类号】H01L31/18; H01L21/00 【发明人】叶权华; 杨文侃; 杨延德 【主权项内容】一种湿法刻蚀监控方法，用于对太阳电池PN结的湿法刻蚀程度进行监控，其特征在于：包括如下步骤：第一步、用印刷或喷涂的方法在硅片表面的掩膜区制备出非掩膜区图形；第二步、把非掩膜区图形部分的掩膜刻蚀形成非掩膜区；第三步、用四探针探头测量非掩膜区的方块电阻，非掩膜区的方块电阻的阻值为90～160Ω。 微信 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【引证次数】3.0 【被引证次数】6 【他引次数】3.0 【被自引次数】2.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】6
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