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提高电池光电转换效率链式湿法刻蚀设备专利

时间:2026-06-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本实用新型涉及一种提高电池光电转换效率链式湿法刻蚀设备。它包括碱槽,在碱槽内设置下喷淋装置,下喷淋装置由多个平行的喷淋管组成,相邻两根喷淋管的喷淋方向相反。本设备保证了扩散面边缘及非扩散面残留刻蚀液被有效中和,同时避免扩散面沾上碱液,使扩散后的正常产品硅片,在经过本设备后,方阻变化值有效控制在2Ω/□左右,降低因方阻过高造成电池烧结过程PN结烧穿的风险,同时可提高单片晶硅电池效率0.2%~0.3%。 【专利类型】实用新型 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201020548394.1 【申请日】2010-09-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN201801596U 【公开公告日】2011-04-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN201801596U 【授权公告日】2011-04-20 【授权公告年份】2011.0 【IPC分类号】C23F1/08; H01L31/18 【发明人】何伟 【主权项内容】一种提高电池光电转换效率链式湿法刻蚀设备,包括碱槽(1),其特征是:在所述的碱槽(1)内设置下喷淋装置,下喷淋装置由多个平行的喷淋管(2)组成,相邻两根喷淋管(2)的喷淋方向相反。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】4 【被自引次数】2.0 【被他引次数】2.0 【家族被引证次数】4

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