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一步扩散制备N型太阳能电池的方法专利

时间:2026-06-04    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种一步扩散制备N型太阳能电池的方法,是以n型直拉单晶硅为基体,表面有随机分布的正金字塔绒面结构,硅片的正面是覆盖有SiN减反膜的磷扩散制备的表面场,表面场上是印有银金属电极,背面是有Al层扩散制备的P-型发射结。表面场和发射结是在高温链式扩散炉中进行同时扩散,或者是放入管式扩散炉通POCl3扩散形成的。本发明工艺过程简单,容易控制,成本低,光电转换效率高。 (,) 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010294758.2 【申请日】2010-09-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102148283A 【公开公告日】2011-08-10 【公开公告年份】2011 【发明人】张学玲 【主权项内容】一种一步扩散制备N型太阳能电池的方法,其特征在于包括以下步骤:1)将硅片表面清洗,并在硅片表面形成正金字塔绒面结构;2)在硅片背面蒸镀或溅射铝层;3)用盐酸清洗去除表面悬浮颗粒,然后用去离子水清洗;4)在硅片正面喷涂磷酸或印刷磷浆,将硅片在高温链式扩散炉中进行扩散或放入管式扩散炉中通过POCl3扩散,在硅片表面同时形成表面场和发射结;5)PSG清洗,正面镀SiN减反膜,印刷正面电极并烧结,然后用激光刻蚀边缘。 【当前权利人】常州天合光能有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【被引证次数】1 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1

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