【摘要】 本发明公开了一种光掩模在清洗过程中的传输方法，首先将光掩模放置于卡盘上，然后机械手抓住卡盘，并将其移动至翻转装置上，翻转装置将卡盘上的光掩模翻转，然后机械手再次抓住卡盘，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗，清洗完成后机械手抓住卡盘底部的把手，并将其送回翻转装置上，翻转装置再次将卡盘上的光掩模翻转，最后机械手抓住卡盘，并将其送回初始位置。本发明为光掩模提供了一个随行的卡盘，在移动光掩模的过程中，机械手只接触卡盘而并不与光掩模直接接触，这种方法解决了现有技术中机械手容易污染、损坏光掩模的缺点。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州瑞择微电子科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213022 江苏省常州市长江中路25号A座316 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010300502.8 【申请日】2010-01-20 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102125921A 【公开公告日】2011-07-20 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102125921B 【授权公告日】2012-09-05 【授权公告年份】2012.0 【IPC分类号】B08B13/00; B08B3/00; G03F1/00 【发明人】徐飞; 金海涛; 吉保国 【主权项内容】一种光掩模在清洗过程中的传输方法，其特征在于具有以下步骤：①先将光掩模放置于卡盘(2)上；②机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其移动至翻转装置上；③翻转装置将卡盘(2)上的光掩模翻转；④机械手(1)再次抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其依次移动至各个不同的工艺腔内进行清洗；⑤清洗完成后机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其送回翻转装置上；⑥翻转装置再次将卡盘(2)上的光掩模翻转；⑦机械手(1)抓住放置有光掩模的卡盘(2)，并将其送回初始位置。 【当前权利人】常州瑞择微电子科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市长江中路25号A座316 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411674863216M 【被引证次数】7 【被他引次数】7.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】7

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