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一种激光与酸刻蚀结合的制绒工艺专利

时间:2026-06-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种激光与酸刻蚀结合的制绒工艺,其工艺步骤如下:首先在硅片表面形成掩膜,然后利用激光在硅片表面均匀开孔,孔间隔5~10微米,孔径3~5微米,孔打好后硅片放置在HF和HNO3的混合溶液中进行刻蚀,利用掩膜与酸反应的时间差在小孔处钻蚀,硅片表面形成均匀的绒面。本发明的制绒工艺对单晶或多晶硅片都适合,可以弥补多晶酸制绒反射率高的缺陷。而且利用本发明的工艺完成的绒面,因为均匀性好,故光吸收效果较传统工艺有明显提升,绒面反射率较低。。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州天合光能有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010238274.6 【申请日】2010-07-28 【申请年份】2010 【公开公告号】CN101976704A 【公开公告日】2011-02-16 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN101976704B 【授权公告日】2013-05-15 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】H01L31/18 【发明人】盛健 【主权项内容】一种激光与酸刻蚀结合的制绒工艺,其特征在于:其工艺步骤如下:首先在硅片表面形成掩膜,然后利用激光在硅片表面均匀开孔,孔间隔5~10微米,孔径3~5微米,孔打好后硅片放置在HF和HNO3的混合溶液中进行刻蚀,利用掩膜与酸反应的时间差在小孔处钻蚀,硅片表面形成均匀的绒面。 【当前权利人】天合光能股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320411608131455L 【引证次数】6.0 【被引证次数】10 【他引次数】6.0 【被他引次数】10.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】10

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