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用于清洗晶片的摇摆清洗装置专利

时间:2026-06-03    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及机械设备技术领域,具体涉及一种在晶片加工完成后,对晶片进行清洗的摇摆清洗装置,包括供水流通过的清洗槽,清洗槽的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管,所述清洗槽上方至少设有一个摇摆装置,摇摆装置包括设有多个清洗篮的旋转平台,驱动旋转平台旋转的驱动装置以及将驱动装置的动力传递给旋转平台的传动机构。本发明利用机械连杆装置来模拟人手清洗的摇摆动作,将置于流动热纯水中的晶片,经过逆流向上的多次清洗,保证晶片充分清洗至工艺要求的清洗质量,同时相对于人工清洗的方式提高了工作效率。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州松晶电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213034 江苏省常州市高新区百丈工业园创业东路11号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010614359.X 【申请日】2010-12-30 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102059230A 【公开公告日】2011-05-18 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102059230B 【授权公告日】2012-08-08 【授权公告年份】2012.0 【发明人】任先林; 陈俊 【主权项内容】用于清洗晶片的摇摆清洗装置,包括供水流通过的清洗槽,清洗槽的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管,其特征在于:所述清洗槽上方至少设有一个摇摆装置,摇摆装置包括设有多个清洗篮的旋转平台,驱动旋转平台旋转的驱动装置以及将驱动装置的动力传递给旋转平台的传动机构。 【当前权利人】常州松晶电子有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市高新区百丈工业园创业东路11号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人独资) 【被引证次数】5 【被他引次数】5.0 【家族被引证次数】5

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