【摘要】 本发明属于芯片生产方法领域，特别涉及一种玻璃钝化芯片脱膜的方法。芯片脱膜的方法：其特征在于包括以下步骤：a、取一片贴膜芯片，将其未贴膜的一面用水浸湿，b、将浸湿的芯片贴在一片干净的玻璃片上，c、将贴有芯片的玻璃片放入冰柜进行冷冻，d、冷冻一定的时间后，从冰柜里取出玻璃片，用手撕去薄膜，e、将带有芯片的玻璃片放入高纯水中，将芯片和玻璃片解冻分离，f、将芯片从水槽中取出清洗并且进行干燥。本发明的优点在于克服了人工脱膜的需求人力多，效率慢的问题，同时本发明中采用的设备的价格比较低，克服了机械脱膜的成本高的问题，另外还能避免前序加工中对芯片表面的刮伤，减少了在前序加工中芯片的浪费，节约了成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州星海电子有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213022 江苏省常州市新北区天目湖路1号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】新北区 【申请号】CN201010611665.8 【申请日】2010-12-29 【申请年份】2010 【公开公告号】CN102157346A 【公开公告日】2011-08-17 【公开公告年份】2011 【授权公告号】CN102157346B 【授权公告日】2013-11-06 【授权公告年份】2013.0 【IPC分类号】H01L21/00; H05K13/02 【发明人】巢芸 【主权项内容】芯片脱膜的方法：其特征在于包括以下步骤：a、取一片贴膜芯片，将其未贴膜的一面用水浸湿，b、将浸湿的芯片贴在一片干净的玻璃片上，c、将贴有芯片的玻璃片放入冰柜进行冷冻，d、冷冻一定的时间后，从冰柜里取出玻璃片，用手撕去薄膜，e、将带有芯片的玻璃片放入高纯水中，将芯片和玻璃片解冻分离，f、将芯片从水槽中取出清洗并且进行干燥。 【当前权利人】常州星海电子股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市高新技术产业开发区天目湖路1号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】913204116081248533 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】7.0

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