【摘要】本实用新型由顺序连接的信号取样、处理、记数 电路及四支分别对应于零线和三根相线的避雷保护电路构成, 其中, 三条支路均由电流互感器、泄放管、压敏电阻、保护开关 和二条发光颜色显著不同的状态指示电路构成, 一条由泄放管 和压敏电阻并联
【摘要】 本发明设计一种非平衡平面磁控溅射阴极, 包括 靶材、非铁磁体背板、永磁体、极靴。两块永磁体的N－S轴 线平行于靶面放置于靶材与非铁磁性背板之间, 两侧永磁体的 N极相对, 永磁体与靶材之间有水冷通道。镀膜装置的真空室四 周均匀分布有磁控溅射阴极, 真空室中心设置有电磁铁。本发明 使全封闭磁力网笼挤满整个真空室, 在整个镀膜空间实现对电 子的控制, 使电子难以逃逸到真空室壁(阳极), 以提高整个真空 室的气体离化率。 【专利类型】发明申请 【申请人】北京振涛国际钛金技术有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】100080北京市海淀区海淀路74号乙 【申请人地区】中国 【申请人城市】北京市 【申请人区县】海淀区 【申请号】CN98120365.5 【申请日】1998-10-09 【申请年份】1998 【公开公告号】CN1215094A 【公开公告日】1999-04-28 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN1109127C 【授权公告日】2003-05-21 【授权公告年份】2003.0 【IPC分类号】C23C14/35; H01J37/32; H01J37/34 【发明人】范毓殿; 王百海; 黄炽雄 【主权项内容】1、一种非平衡平面磁控溅射阴极，包括靶材、非铁磁体背板、永磁体、极靴； 其特征在于两块永磁体的N-S轴线平行于靶面放置于靶材与非铁磁性背板之间， 两侧永磁体的N极相对，心部极靴放置于永磁体之间，永磁体的外侧均为S外围 极靴，永磁体与靶材之间有水冷通道。。： 【当前权利人】范毓殿; 王百海; 黄炽雄; 乔治; 波纳瑟斯 【专利权人类型】有限责任公司(外国自然人独资) 【统一社会信用代码】91110108600013411K 【被引证次数】15.0 【被他引次数】15.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】26.0
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