【摘要】光刻机相位光栅离轴照明光学系统,属于半微米 至深亚微米光刻机离轴照明光学系统技术领域。其特征是聚光 镜与掩模板之间是一个与掩模面平行的相位光栅板,它的上下 表面分别刻有线宽相同、刻蚀深度相同的方向互相垂直线形光 栅,光栅方向与掩模图
【摘要】 本实用新型提供了一种宽馏分液体烃燃料燃 具。该燃具包括壳体, 置于壳体中的含可燃气喷入口的燃烧器, 其特征是燃烧器上有将液体烃燃料气化的且与燃烧器可燃气 喷入口相连通的燃料气化器。本实用新型还提供了与燃具配套 的供燃油装置。本实用新型可采用沸点范围为初馏~205℃, 以 C5~C11汽油烃为燃料的宽馏分液体烃燃料。供燃油装置运输 方便、安全。。数据由整理 【专利类型】实用新型 【申请人】四川省国生农村能源开发有限责任公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】610500四川省成都市新都镇封锡桥国生燃具厂 【申请人地区】中国 【申请人城市】成都市 【申请人区县】新都区 【申请号】CN98229555.3 【申请日】1998-09-23 【申请年份】1998 【公开公告号】CN2345865Y 【公开公告日】1999-10-27 【公开公告年份】1999 【授权公告号】CN2345865Y 【授权公告日】1999-10-27 【授权公告年份】1999.0 【IPC分类号】F24C5/02; F24C5/00 【发明人】李顺海; 余国琛 【主权项内容】1、宽馏分液体烃燃料燃具,包括壳体,置于壳体中的含可燃气喷入口的燃 烧器,其特征在于在燃烧器上有将液体烃燃料气化的且与燃烧器可燃气喷入口相 连通的燃料气化器。 【当前权利人】四川省国生农村能源开发有限责任公司 【当前专利权人地址】四川省成都市新都镇封锡桥国生燃具厂 【专利权人类型】有限责任公司 【被引证次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族被引证次数】1.0
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