【摘要】 晶硅抛光片表面缺陷检测系统，包括激光模块、光学扫描模块、图形检测模块、晶硅抛光片运动模块以及显示控制模块，所述激光模块与所述光学扫描模块相连接，所述光学扫描模块固定于待检测晶硅抛光片的上方一侧，所述图形检测模块以π/2弧度固定于待检测晶硅抛光片上方相对于所述的光学扫描模块的另一侧，并与所述显示控制模块相连接；所述晶硅抛光片运动模块与所述显示控制模块相连接。本发明利用激光相干性、方向集中和高分辨率的特性，结合光机电一体化以及图像算法的方法进行晶硅抛光片表面质量的检测，可实现晶硅抛光片表面细小裂纹、细小颗粒、沾污、凸凹等缺陷的检测，为集成电路与太阳能光伏电池的生产提供可靠的质量检测保证。 【专利类型】发明授权 【申请人】浙江工业大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】杭州市 【申请人区县】临安区 【申请号】CN201210086505.5 【申请日】2012-03-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102621152B 【公开公告日】2014-11-05 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102621152B 【授权公告日】2014-11-05 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01N21/88; G01N21/95 【发明人】潘国兵; 张洪涛; 蒋建东 【主权项内容】一种晶硅抛光片表面缺陷检测系统，其特征在于：包括激光模块、光学扫描模块、图形检测模块、晶硅抛光片运动模块以及显示控制模块，所述的激光模块与光学扫描模块连接，所述的光学扫描模块固定于待检测晶硅抛光片的上方的一侧，所述的图形检测模块以晶硅抛光片表面反射点为中心的π/2弧度固定于待检测晶硅抛光片的上方的相对于所述的光学扫描模块的另一侧，所述图形检测模块由二维CCD面阵曲面、AD变换电路和DSP信号处理电路组成，AD变换电路将线阵CCD成像信号转换为数字信号，DSP信号处理电路将数字图像数据进行γ校正、白平衡处理，得到理想的图像数据；所述二维CCD面阵曲面由50片一维线阵CCD组成，曲面为以晶硅抛光片表面反射点为中心的π/2弧度曲面，接收晶硅抛光片的反射编码光束并形成晶硅抛光片的表面图像；所述的图形检测模块并与所述的显示控制模块相连接；所述的晶硅抛光片运动模块与显示控制模块连接。 【当前权利人】上海信智精密光学有限公司 【当前专利权人地址】上海市嘉定区北和公路255号10幢一、二层 【专利权人类型】公立 【统一社会信用代码】1233000047000441XK 【引证次数】8.0 【自引次数】1.0 【他引次数】7.0 【家族引证次数】8.0 【家族被引证次数】9

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