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一种高纯硫系相变合金靶材及其制备方法专利

时间:2026-10-07    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种高纯硫系相变合金靶材及其制备方法,特点是主要由以下各组份及其重量百分比组成:锗0-20%;锑20-40%;碲50-70%,由以上各原料组成的混合料的重量数之和为100%,再在混合料中0.1wt%添加镁条和300ppm的TeCl4,制备方法包括将纯度均为99.99%的靶材原料按上述配比混合并添加镁条和TeCl4的步骤;将上述混合料装入H形双管石英安瓿中,控制真空后封口的步骤;将双管石英安瓿放入双管蒸馏炉子中进行蒸馏提纯的步骤;最后将含有提纯后的单质锗、锑、碲的石英管放入摇摆炉中,熔制退火得到产品,优点是该合金靶材组分均匀,纯度高且操作工艺简单,无腐蚀,加工周期短、效率高。 【专利类型】发明授权 【申请人】宁波大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】315211 浙江省宁波市江北区风华路818号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】江北区 【申请号】CN201210066288.3 【申请日】2012-03-14 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102637822B 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102637822B 【授权公告日】2014-03-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L45/00; C22C1/10 【发明人】沈祥; 王国祥; 聂秋华; 徐铁峰; 戴世勋; 陈芬; 张巍; 付晶 【主权项内容】(,) 一种高纯硫系相变合金靶材,其特征在于主要由以下各组份及其重量百分比组成:锗Ge0-20%;锑Sb20-40%;碲Te50-70%,由以上各原料组成的混合料的重量百分比之和为100%,再在混合料中添加镁条和TeCl4,其中镁条的添加量为混合料的0.1wt%,TeCl4的添加浓度为300ppm。 【当前权利人】宁波大学 【当前专利权人地址】浙江省宁波市江北区风华路818号宁波大学 【统一社会信用代码】123300004195291066 【引证次数】4.0 【被引证次数】2 【他引次数】4.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】17

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