【摘要】 本发明公开了钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法。其中，所述钨钛靶材的制造方法包括：在模具中装入钨粉和钛粉的混合粉末；对所述混合粉末进行冷压成型处理，形成钨钛靶材坯料；将所述钨钛靶材坯料进行真空热压烧结处理，形成钨钛靶材。本发明所公开的钨钛靶材的制造方法通过冷压成型处理和真空热压烧结及相关工艺参数的设定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的钨钛靶材，并且所获得的钨钛靶材微观结构均匀，具有优异的溅射使用性能。同时，本发明的制造方法工艺步骤少，生产速度快。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210374822.7 【申请日】2012-09-27 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103691953A 【公开公告日】2014-04-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103691953B 【授权公告日】2016-04-06 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】B22F3/16; C22C27/04; C22C1/04; C23C14/34; C23C14/14 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 宋佳 【主权项内容】一种钨钛靶材的制造方法，其特征在于，包括：在模具中装入钨粉和钛粉的混合粉末；对所述混合粉末进行冷压成型处理，形成钨钛靶材坯料；将所述钨钛靶材坯料进行真空热压烧结处理，形成钨钛靶材；所述真空热压烧结处理包括：将装有所述钨钛靶材坯料的所述模具放置在真空热压炉内；将所述真空热压炉抽真空至绝对压强100Pa以下，以5℃/min~10℃/min的升温速度升温至900℃~1100℃，保温60min~90min；经上述保温处理后，充入惰性气体至所述真空热压炉的相对气压为-0.08MPa~-0.06MPa；利用真空热压炉的压柱对所述模具内的所述钨钛靶材坯料进行加压，所述加压以0.1MPa/min~0.4MPa/min的加压速度加压至最大压强，所述最大压强在20MPa~30MPa之间；以5℃/min~10℃/min的升温速度升温至最高温度，所述最高温度在1100℃~1250℃之间，在所述最大压强和所述最高温度条件下保温保压30min~60min。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】7.0 【被引证次数】15 【自引次数】2.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】15.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】15

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