【摘要】 本发明提供一种镍靶材及镍靶材组件的制造方法，镍靶材的制作方法，包括：提供镍锭；对镍锭热锻，形成第一镍靶材坯料；对第一镍靶材坯料第一热处理，形成第二镍靶材坯料，第一热处理温度为450℃～550℃，保温1小时～2小时；第一热处理后，对第二镍靶材坯料热轧，形成第三镍靶材坯料；对第三镍靶材坯料第二热处理，形成第四镍靶材坯料，所述第一热处理温度为300℃～500℃，保温1小时～2小时；第二热处理后，对第四镍靶材坯料冷轧，形成第五镍靶材坯料；对第五镍靶材坯料进行第三热处理，形成镍靶材，第三热处理温度为200℃～300℃，保温1小时～2小时。采用本发明技术方案制造的镍靶材内部组织比较均匀，磁性能好。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210271934.X 【申请日】2012-08-01 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103572224A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103572224B 【授权公告日】2016-03-16 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】C23C14/34; C22F1/10 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 袁海军 【主权项内容】一种镍靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供镍锭；对所述镍锭进行热锻，形成第一镍靶材坯料；对所述第一镍靶材坯料进行第一热处理，形成第二镍靶材坯料，所述第一热处理的温度为450℃～550℃，保温时间为1小时～2小时；第一热处理后，对所述第二镍靶材坯料进行热轧，形成第三镍靶材坯料；对所述第三镍靶材坯料进行第二热处理，形成第四镍靶材坯料，所述第二热处理的温度为300℃～500℃，保温时间为1小时～2小时；第二热处理后，对所述第四镍靶材坯料进行冷轧，形成第五镍靶材坯料；对所述第五镍靶材坯料进行第三热处理，形成镍靶材，所述第三热处理的温度为200℃～300℃，保温时间为1小时～2小时。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】4.0 【被引证次数】16 【自引次数】1.0 【他引次数】3.0 【被他引次数】16.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】16

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1791307151.html