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靶材溅射寿命的确定方法专利

时间:2026-10-07    作者:admin 点击: ( 3 ) 次

【摘要】 本发明提供一种靶材溅射寿命的确定方法,包括:确定溅射功耗与靶材最小剩余厚度的线性关系;设定靶材的标准剩余厚度;将所述标准剩余厚度代入所述线性关系中,确定靶材的溅射寿命。确定靶材溅射寿命有利于靶材的合理有效使用,一方面防止因为靶材利用不充分而造成的资源浪费,另一方面防止因过度溅射而导致背板材料被溅射出来影响溅射产品质量。 【专利类型】发明申请 【申请人】宁波江丰电子材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 【申请人地区】中国 【申请人城市】宁波市 【申请人区县】余姚市 【申请号】CN201210260408.3 【申请日】2012-07-25 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103572222A 【公开公告日】2014-02-12 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103572222B 【授权公告日】2015-10-21 【授权公告年份】2015.0 【IPC分类号】C23C14/34; C23C14/54 【发明人】姚力军; 相原俊夫; 大岩一彦; 潘杰; 王学泽; 钟伟华 【主权项内容】一种靶材溅射寿命的确定方法,其特征在于,包括:确定溅射功耗与靶材最小剩余厚度的线性关系;设定所述靶材的标准剩余厚度;将所述标准剩余厚度代入所述线性关系中,确定所述靶材的溅射寿命。 【当前权利人】宁波江丰电子材料股份有限公司 【当前专利权人地址】浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 【引证次数】4.0 【被引证次数】5 【他引次数】4.0 【被他引次数】5.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】5

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