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一种衬底支承座专利

时间:2026-10-06    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及化学气相沉积技术领域,尤其是一种衬底支承座,包括相对设置的衬底支撑盘和加热装置,所述衬底支撑盘用于支撑待处理衬底;所述加热装置包括设有加热面的底盘以及多根两端连接有接线柱的电热丝,所述加热面面向所述衬底支撑盘,其特征在于,所述电热丝布设于所述底盘的加热面上;所述接线柱布设于所述加热面周围。本发明通过改变电热丝的布设方式,能保证底盘的加热面均匀布设有电热丝,避免局部温度过低,导致底盘加热不均匀的缺陷。 【专利类型】发明申请 【申请人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314300 浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】海盐县 【申请号】CN201210574071.3 【申请日】2012-12-26 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103898477A 【公开公告日】2014-07-02 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/458; C23C16/46 【发明人】陈勇 【主权项内容】一种衬底支承座,包括相对设置的衬底支撑盘和加热装置,所述衬底支撑盘用于支撑待处理衬底;所述加热装置包括设有加热面的底盘以及多根两端连接有接线柱的电热丝,所述加热面面向所述衬底支撑盘,其特征在于,所述电热丝布设于所述底盘的加热面上;所述接线柱布设于所述加热面周围。 【当前权利人】光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 【当前专利权人地址】浙江省海盐县盐北路211号科创园西区1号楼3楼 【专利权人类型】有限责任公司(台港澳与境内合资) 【统一社会信用代码】91330400MA29GQ2771 【引证次数】5.0 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】5.0

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