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一种带有氮化硅涂层的石英坩埚的制备方法及一种多晶硅铸锭的方法专利

时间:2026-10-06    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明提供了一种带有氮化硅涂层的石英坩埚的制备方法,该方法将氮化硅浆料喷涂于石英坩埚内的底部和侧壁,然后进行烘干,得到带有氮化硅涂层的石英坩埚。本发明提供了一种多晶硅铸锭的方法,该方法向上述制备方法得到的带有氮化硅涂层的石英坩埚装填多晶硅料,依次经过熔化、长晶和退火,得到多晶硅锭。本发明采用带有氮化硅涂层的石英坩埚进行多晶硅铸锭,能提高多晶硅的品质。同时,本发明仅对石英坩埚做喷涂氮化硅浆料、烘干等简单的预处理,无需烧结即可得到带有氮化硅涂层的坩埚或者即可按照正常铸锭工艺投炉运行,操作简便,耗能较低、耗时较少、设备损耗较少,提高了生产效率,降低了生产成本。 【专利类型】发明申请 【申请人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】314117 浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】嘉兴市 【申请人区县】嘉善县 【申请号】CN201210375860.4 【申请日】2012-09-27 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103693858A 【公开公告日】2014-04-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103693858B 【授权公告日】2016-06-01 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】C03C17/22 【发明人】彭春球 【主权项内容】一种带有氮化硅涂层的石英坩埚的制备方法,包括以下步骤:将氮化硅浆料喷涂于石英坩埚内的底部和侧壁,然后进行烘干,得到带有氮化硅涂层的石英坩埚。。 【当前权利人】浙江昱辉阳光能源有限公司 【当前专利权人地址】浙江省嘉兴市嘉善县姚庄镇工业区宝群路8号 【专利权人类型】有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91330421753019961P 【引证次数】3.0 【被引证次数】4 【他引次数】3.0 【被他引次数】4.0 【家族引证次数】3.0 【家族被引证次数】4

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