【摘要】 本发明公开了一种用于多种高纯度含氟电子特气分析的气相色谱阀路系统及其使用方法。具体包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气。本发明采用五阀四柱的阀路系统，一次进样可完成多种气相杂质的测定。该阀路系统操作方便，适用于高纯度含氟电子气体领域工业化生产中使用。。 【专利类型】发明授权 【申请人】黎明化工研究院 【申请人类型】科研单位 【申请人地址】471000 河南省洛阳市王城大道69号 【申请人地区】中国 【申请人城市】洛阳市 【申请号】CN201210112110.8 【申请日】2012-04-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102636598B 【公开公告日】2014-03-05 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102636598B 【授权公告日】2014-03-05 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G01N30/20; G01N30/06 【发明人】黄晓磊; 牛学坤; 梁真镇; 张景利; 付梦月; 侯玲玲; 汤月贞; 张亚平 【主权项内容】1.一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统，包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气，其中四通阀(1)的第1接口、第2接口分别连接样品出口、样品进口，第4接口连接第一路载气，第3接口通过管路与第一十通阀(2)的第1接口连接；第一十通阀(2)的第2接口连接气体出口，第3接口和第10接口之间连接定量环(24)，第4接口连接第三路载气，第5接口和第9接口之间连接预分离色谱柱(6)，第6接口通过管路与八通阀(3)的第1接口连接，第7接口连接第二路载气，第8接口连接压力平衡调节阀(21)后接气体出口；八通阀(3)的第2接口通过管路与第二十通阀(4)的第1接口连接，第3接口连接第五路载气，第4接口连接压力平衡调节阀(19)后接气体出口，第5接口通过管路与第二四通阀(5)的第1接口连接，第6接口连接压力平衡调节阀(20)后接气体出口，第7接口连接第四路载气，第8接口连接第一分析色谱柱(7)；第二十通阀(4)的第2接口和第5接口之间连接管路和压力平衡调节阀(17)，第3接口和第8接口之间连接管路，第4接口连接压力平衡调节阀(18)后接气体出口，第6接口连接第三分析色谱柱(9)，第7接口和第10接口之间连接第二分析色谱柱(8)，第9接口连接第六路载气；第二四通阀(5)的第2接口连接第三分析色谱柱(9)，第3接口连接压力平衡调节阀(22)后接放电离子化检测器(25)，第4接口连接第一分析色谱柱(7)；其中预分离色谱柱(6)采用Hayesep Q色谱柱、硅胶色谱柱或氟油色谱柱中的一种；第一分析色谱柱(7)是5A分子筛色谱柱，第二分析色谱柱(8)是Hayesep Q色谱柱，第三分析色谱柱(9)是Hayesep Q色谱柱。 【当前权利人】昊华气体有限公司 【当前专利权人地址】河南省洛阳市吉利区道南路12号 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】9.0 【家族被引证次数】21

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