【摘要】 本发明公开了一种硼扩散用炉管的清洗方法。该方法包括以下步骤：1)按体积比75 : 1~1 : 1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，携源氮气中携带有纯水蒸气；2)停止通入氮气和携源氮气，完成清洗。应用本发明的技术方案，在不改变炉管结构的情况下，采用纯水蒸气对炉管进行清洗。因为BSG(硼硅玻璃)极易溶于水，因此采用纯水蒸气很容易就可以将炉管清洗干净，清洗过程中产生废物可以随尾气管排出。总之，本发明的技术方案简单实用，不必更改设备结构，就能达到清洗炉管，提高扩散质量，延长石英器件寿命的目的。 【专利类型】发明授权 【申请人】英利能源(中国)有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 【申请人地区】中国 【申请人城市】保定市 【申请人区县】竞秀区 【申请号】CN201210303447.7 【申请日】2012-08-23 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102784775B 【公开公告日】2014-12-10 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102784775B 【授权公告日】2014-12-10 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】B08B9/027 【发明人】崔景光; 刘旭; 寇继成; 王海亮 【主权项内容】一种硼扩散用炉管的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1)按体积比75 : 1～1 : 1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，所述携源氮气中携带有纯水蒸气；2)停止通入所述氮气和携源氮气，完成清洗；所述步骤1)包括：将所述炉管内的温度升至860～960℃，将携带有纯水蒸气的携源氮气通入所述炉管对所述炉管进行清洗。 【当前权利人】英利能源(中国)有限公司 【当前专利权人地址】河北省保定市朝阳北大街3399号 【专利权人类型】其他有限责任公司 【统一社会信用代码】91130600667708103C 【引证次数】6.0 【他引次数】6.0 【家族引证次数】6.0 【家族被引证次数】10

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