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一种晶体硅太阳电池扩散死层的去除方法专利

时间:2026-10-01    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种晶体硅太阳电池扩散死层的去除方法,包括如下步骤:(1)将扩散后的硅片表面丝网印刷一层腐蚀性浆料,然后烘干;(2)去除上述腐蚀性浆料;所述腐蚀性浆料包括如下组分:以质量计,季氨碱10~50%,松油醇10~40%,乙基纤维素10~50%;所述腐蚀性浆料的黏度为100~300Pa·s。本发明采用腐蚀性浆料的方法在扩散去磷硅玻璃后的硅片表面进行腐蚀,刻蚀掉一层硅表面,去除了扩散死层,减少了表面高浓度扩散层的复合,提高了短波响应;试验证明:采用本发明的方法,太阳电池的短路电流可以提升30~60mA,电池的光电效率可以提高0.1~0.2%。 【专利类型】发明授权 【申请人】苏州阿特斯阳光电力科技有限公司; 阿特斯(中国)投资有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215129 江苏省苏州市苏州高新区鹿山路199号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】虎丘区 【申请号】CN201210103013.2 【申请日】2012-04-10 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102623568B 【公开公告日】2014-08-06 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102623568B 【授权公告日】2014-08-06 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L31/18 【发明人】张为国; 王栩生; 章灵军 【主权项内容】1.一种晶体硅太阳电池扩散死层的去除方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 将扩散后的硅片表面丝网印刷一层腐蚀性浆料,然后烘干;所述步骤(1)中的烘干在烘干炉中进行,其烘干温度为250~350℃,带速为200~300cm/min;(2) 去除上述腐蚀性浆料;所述腐蚀性浆料包括如下组分:以质量计,季氨碱10~50%,松油醇10~40%,乙基纤维素10~50%;所述腐蚀性浆料的黏度为100~300 Pa·s。 (,) 【当前权利人】苏州阿特斯阳光电力科技有限公司; 阿特斯阳光电力集团股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市高新区鹿山路199号; 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 【专利权人类型】有限责任公司(非自然人投资或控股的法人独资); 有限责任公司(外国法人独资) 【统一社会信用代码】91320505788380992U; 91320505691330112T 【引证次数】5.0 【被引证次数】1 【他引次数】5.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】3

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