【摘要】 本发明涉及一种半球谐振式微机械陀螺仪，其包括谐振层，谐振层包括半球球壳，半球球壳具有内凹的内表面及与内表面相对的外表面，半球球壳的顶点为其锚点，环绕半球球壳设置有多个硅球面电极，硅球面电极包括驱动电极、力平衡电极、信号检测电极、屏蔽电极，屏蔽电极将驱动电极、力平衡电极与信号检测电极分隔开，半球球壳与环绕其的多个硅球面电极形成多个电容；谐振层采用多晶硅或二氧化硅或氮化硅或金刚石材质。该半球谐振式微机械陀螺仪采用基于硅微细加工的工艺，其尺寸较小，生产成本较低，具有批量生产能力同时，其灵敏度不取决于其振幅，其驱动电压较低，可大大减小输出噪声，其精度可比现有的陀螺仪产品高。。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州文智芯微系统技术有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215000 江苏省苏州市高新区科创路18号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】虎丘区 【申请号】CN201210231285.0 【申请日】2012-07-05 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103528576A 【公开公告日】2014-01-22 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103528576B 【授权公告日】2017-01-25 【授权公告年份】2017.0 【IPC分类号】G01C19/5691; G01C25/00; B81B7/00; B81C1/00 【发明人】郭述文 【主权项内容】一种半球谐振式微机械陀螺仪，其特征在于：其包括谐振层，所述的谐振层包括半球球壳、环绕所述的半球球壳设置的多个硅球面电极，所述的硅球面电极包括驱动电极、力平衡电极、信号检测电极、屏蔽电极，所述的屏蔽电极将所述的驱动电极、所述的力平衡电极与所述的信号检测电极分隔开，所述的屏蔽电极交汇于一点且该交汇点即为所述的半球球壳的锚点，所述的半球球壳与环绕其的多个所述的硅球面电极形成多个电容；所述的半球球壳采用多晶硅或二氧化硅或氮化硅或金刚石材质。 【当前权利人】安徽北方微电子研究院集团有限公司 【当前专利权人地址】安徽省蚌埠市财院路10号 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913205055810112338 【引证次数】5.0 【被引证次数】28 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【被他引次数】28.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】28

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