【摘要】 本发明公开了一种掩模组件的组装方法，其步骤如下：S1：掩膜框架的准备，将掩模框架置于组装平台上，使得掩模框架的内框与强化杆通过对位支撑机构对位正确放置；S2：绷网固定，通过绷网装置将掩模部绷紧使掩模部紧贴掩模框架的掩模固定面，将绷紧的掩模部固定到掩模框架的内框上；S3：调节连接机构，进一步微调焊接固定后的掩膜组件，使得掩模部表面平整度更好，图案位置精度更加准确。本发明公开的一种掩模组件的组装方法，可以有效解决掩模板下垂问题，改善印刷的精度和质量，有效地提升最终产品的良品率。 【专利类型】发明申请 【申请人】昆山允升吉光电科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210329233.7 【申请日】2012-09-07 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103668050A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C14/04; C23C16/04 【发明人】魏志凌; 高小平; 张炜平 【主权项内容】一种掩模组件的组装方法，其特征在于, 包括：S1：掩模框架对位安装：将所述掩模框架置于组装平台上，使得所述掩模框架的内框与强化杆通过对位支撑机构对位正确放置；S2：掩模部绷网固定：通过绷网装置将所述掩模部绷紧且使掩模部紧贴所述掩模框架的掩模固定面，将绷紧的所述掩模部固定到所述掩模框架的内框上；S3：掩模板张力微调：通过调节连接机构，进一步微调固定后的掩膜组件，使得所述掩模部表面平整度更好，图案位置精度更加准确。 【当前权利人】昆山允升吉光电科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320583688327262Q 【引证次数】7.0 【被引证次数】9 【他引次数】7.0 【被他引次数】9.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】9

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