【摘要】本发明公开了一种三光束干涉光刻方法和系统,其方法包括:激光束被位相光栅分光成三路光束后在加工工件表面实现N次干涉曝光,相邻两次曝光位置之间的错位值为dIN,其中,N为大于等于3的奇数,dI为曝光后的光强分布的周期,所述三路光束分别为
【摘要】 本发明公开了一种精密球锁定位夹头,包括底座圈、限位销、限位销锁紧螺丝、夹持圈、球头销、弹簧、球头销限位螺母和球头销拔出螺丝,底座圈和夹持圈通过连接螺丝同轴固定;在夹持圈上设置有夹持孔,在夹持圈的侧壁上设置有台阶孔和通槽,球头销限位螺母安装在台阶孔的螺纹处,球头销安装在台阶孔的直孔处并通过缩口限位,弹簧压紧在球头销限位螺母和球头销之间;通槽两侧壁通过相对的沉头孔及夹持圈锁紧螺纹件锁紧;在底座圈上设置有通孔;在底座圈的侧壁上设置有垂直朝向通孔,限位销插入通孔内,限位销锁紧螺丝旋入沉头螺孔内压紧限位销。本发明提供的精密球锁定位夹头,解决了批量加工过程中的快速夹紧、精确定位的问题。 【专利类型】发明授权 【申请人】优德精密工业(昆山)股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3168号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】昆山市 【申请号】CN201210255754.2 【申请日】2012-07-23 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102756331B 【公开公告日】2014-08-13 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102756331B 【授权公告日】2014-08-13 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】B24B41/06 【发明人】杨天文 【主权项内容】精密球锁定位夹头,其特征在于:包括底座圈(1)、限位销(2)、限位销锁紧螺丝(3)、夹持圈(8)、球头销(7)、弹簧(6)、球头销限位螺母(5)和球头销拔出螺丝(4),所述底座圈(1)和夹持圈(8)通过连接螺丝(9)同轴固定;在夹持圈(8)的中心轴线上设置有连通夹持圈(8)的两端面的夹持孔;在夹持圈(8)的侧壁上设置有垂直朝向夹持孔、并连通夹持孔的台阶孔,所述台阶孔的孔口端设置有适配球头销限位螺母(5)的螺纹、中间端为适配球头销(7)的直孔、临夹持孔的孔尾端形成缩口,球头销拔出螺丝(4)与球头销限位螺母(5)固定,球头销限位螺母(5)安装在台阶孔的螺纹处,球头销(7)安装在台阶孔的直孔处并通过缩口限位,弹簧(6)压紧在球头销限位螺母(5)和球头销(7)之间;在夹持圈(8)的侧壁上还设置有垂直朝向夹持孔、并连通夹持孔和夹持圈(8)的两端面的通槽,通槽的两侧壁上设置有相对的沉头孔,两侧壁通过相对的沉头孔及夹持圈锁紧螺纹件(11)锁紧;在底座圈(1)的中心轴线上设置有连通底座圈(1)的两端面的通孔,且通孔的内径大于夹持孔的内径;在底座圈(1)的侧壁上设置有垂直朝向通孔、并连通通孔的沉头螺孔,限位销(2)插入通孔内,限位销锁紧螺丝(3)旋入沉头螺孔内压紧限位销(2)。 【当前权利人】优德精密工业(昆山)股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省苏州市昆山高科技工业园北门路3168号 【专利权人类型】股份有限公司(中外合资、上市) 【统一社会信用代码】913205007115020313 【引证次数】5.0 【他引次数】5.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】3
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