【摘要】本发明公开了一种不占道旋转泊车位，包括：可倾式承重支架、托叉、旋转装置；所述旋转装置包括：旋转承重轴、双头液压缸、钢丝绳；所述钢丝绳绕过旋转承重轴和双头液压缸的两端；所述旋转承重轴用混凝土浇注于紧靠路边的绿化带里并与可倾式承重支架连
【摘要】 本发明公开了一种三光束干涉光刻方法和系统，其方法包括：激光束被位相光栅分光成三路光束后在加工工件表面实现N次干涉曝光，相邻两次曝光位置之间的错位值为dI/N，其中，N为大于等于3的奇数，dI为曝光后的光强分布的周期，所述三路光束分别为复振幅相同的第一光束和第二光束以及0级光束。通过本发明的三光束干涉光刻方法，可以在光刻胶上直接制备大幅面的精密多台阶结构，加工效率高，而且所采用的元器件容易获得，成本低。另外，采用三光束干涉曝光，对光栅和系统没有消零级的要求，易于制备。 ： 【专利类型】发明授权 【申请人】苏州大学 【申请人类型】学校 【申请人地址】215123 江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请号】CN201210229255.6 【申请日】2012-07-04 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102736451B 【公开公告日】2014-02-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102736451B 【授权公告日】2014-02-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G03F7/20 【发明人】浦东林; 胡进 【主权项内容】一种三光束干涉光刻方法，其特征在于，激光束被位相光栅分光成三路光束后在加工工件表面实现N次干涉曝光，相邻两次曝光位置之间的错位值为dI/N，其中，N为大于等于3的奇数，dI为曝光后的光强分布的周期，所述三路光束分别为复振幅相同的第一光束和第二光束以及0级光束, 楔形位相板位于所述第一光束或第二光束的光路上，楔形位相板控制相邻两次曝光位置之间的错位值。 ： 【当前权利人】苏州大学 【当前专利权人地址】江苏省苏州市工业园区仁爱路199号 【统一社会信用代码】123200004660073435 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】4
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