【摘要】 本发明涉及一种高致密铬合金靶材的生产方法，其包括依次进行的真空脱气、阶段性升温加、保压炉冷、热锻、退火、热轧、退火以及机加工步骤，其中：采用-200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料。本发明能够成功获得成分与密度均匀、晶粒大小小于100微米、纯度大于99.9%、相对密度大于99%、氧含量小于1000ppm的高致密铬合金靶材。此外，本发明方法生产成本低，工艺过程简单易控。 【专利类型】发明授权 【申请人】苏州晶纯新材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215600 江苏省苏州市张家港市国泰北路1号留学生创业园D-102 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】张家港市 【申请号】CN201210507051.4 【申请日】2012-12-03 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102978576B 【公开公告日】2014-12-31 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102978576B 【授权公告日】2014-12-31 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C23C14/34; C23C14/14; C22F1/18; C22C1/04; C22C27/06 【发明人】钟小亮; 王广欣; 王树森 【主权项内容】1.?一种高致密铬合金靶材的生产方法，所述的铬合金为铬与选自镍、硅、钛、钴、铂中的一种或多种的合金，其特征在于：所述的生产方法包括依次进行的如下步骤： (Ⅰ)、真空脱气：采用-200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料，均匀混料后，将原料放入模具中，首先加压5MPa，然后在真空度保持为10-3Pa的环境下，以300℃/h的加热速率加热至650℃，保温1小时，充入氩气； (Ⅱ)、阶段性升温加压：加压至10MPa，然后以150℃/h的加热速率加热至1050℃，保温1小时；然后以100℃/h的加热速率加热至1400℃，保温1小时，从1100℃开始，在温度上升的过程中温度每上升50℃增加2MPa压力，加热截止温度为1400℃，直至压力为40MPa； (Ⅲ)、保压炉冷：保持20~100MPa的压力，停止加热，靶材随炉冷； (Ⅳ)、热锻：锻造温度为1000℃，变形率为0.3%/min； (Ⅴ)、退火：在300℃～700℃温度下保温3～5小时进行去应力退火； (Ⅵ)、热轧：采取旋转式的热扎方式，轧制温度为1200℃，轧制的道次变形率为6%； (Ⅶ)、退火：在400℃温度下保温4小时进行去应力退火； (Ⅷ)、机加工获得铬合金靶材成品。 【当前权利人】烟台希尔德材料科技有限公司 【当前专利权人地址】山东省烟台市资源再生加工示范区 【专利权人类型】有限责任公司 【引证次数】3.0 【被引证次数】1 【他引次数】3.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】18

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1790658029.html