【摘要】 本发明公开一种可降低抛光表面粗糙度、清洗方便的表面改性纳米磨料硅片抛光液，由表面改性纳米磨料、两性表面活性剂、高分子表面活性剂、含氮羧酸类螯合剂、有机胺及纯水组成，pH值为10.0～12.0，各原料的质量百分比为：表面改性纳米磨料5％～50％，两性表面活性剂1％～5％，高分子表面活性剂1％～5％，含氮羧酸类螯合剂0.5％～5％，有机胺1％～10％，纯水余量，所述表面改性纳米磨料是采用SiO2或Al2O3将有机聚合物粒子表面改性而形成的复合聚合物粒子，粒径为200～2000nm。 【专利类型】发明授权 【申请人】常熟奥首光电材料有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215513 江苏省常熟市常熟经济技术开发区科创园研究院路9号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】常熟市 【申请号】CN201210131336.2 【申请日】2012-05-02 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102660195B 【公开公告日】2014-04-02 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102660195B 【授权公告日】2014-04-02 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】C08J5/14; C09G1/02 【发明人】侯军; 崔京南; 高远 【主权项内容】一种表面改性纳米磨料硅片抛光液，其特征在于由表面改性纳米磨料、两性表面活性剂、高分子表面活性剂、含氮羧酸类螯合剂、有机胺及纯水组成，pH值为10.0～12.0，各原料的质量百分比为：所述的表面改性纳米磨料是采用SiO2或Al2O3将有机聚合物粒子表面改性后形成的复合聚合物粒子，粒径为200～2000nm，所述的有机聚合物粒子为聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯、聚丙烯中的一种或几种；所述的表面改性是指将SiO2或Al2O3与有机聚合物粒子通过硅烷偶联剂结合，所述的硅烷偶联剂为乙烯基三氯硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷或4-缩水甘油基丁基三甲氧基硅烷；所述的两性表面活性剂选自烷基氨基丙酸盐、烷基二甲基甜菜碱、烷基羟基磺丙基甜菜碱、烷基二甲基羟丙基磷酸脂甜菜碱中的一种或几种，其分子结构中烷基的碳原子数为12～18；所述的高分子表面活性剂选自环氧乙烷-环氧丙烷嵌段共聚物、聚乙烯醇、聚乙烯醇嵌段共聚物或聚苯乙烯嵌段共聚物、聚乙二醇、聚乙烯亚胺表面活性剂中的一种或几种；所述的含氮羧酸类螯合剂选自乙二胺四乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸、次氮基三乙酸或其铵盐或钠盐中的一种或几种；所述的有机胺为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、三甲基苄基氢氧化铵、三甲基羟乙基氢氧化铵、二甲基二羟乙基氢氧化铵、二乙胺、三乙胺、乙二胺、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、二异丙醇胺或三异丙醇胺中的一种或几种。FSB0000119120330000011.tif。 【当前权利人】江苏奥首材料科技有限公司 【当前专利权人地址】辽宁省大连市高新区高能街125号云计算中心 【专利权人类型】有限责任公司(法人独资) 【统一社会信用代码】91320581595557739B 【引证次数】1.0 【被引证次数】1 【他引次数】1.0 【被他引次数】1.0 【家族引证次数】1.0 【家族被引证次数】17

未经允许不得转载：http://www.zhongzhencnc.com/1790598785.html