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一种催化电极复合薄膜及其制备方法专利

时间:2026-09-28    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及催化电极材料,特别提供了一种贵金属与碳复合薄膜及其制备方法。该复合薄膜特征在于该薄膜由贵金属颗粒与碳颗粒相互嵌套组成,其中贵金属为为铂、铱、钌、铑;碳为无定型碳、金刚石和/或类金刚石。该制备方法特征在于有一个密闭的沉积室,工件和靶材通负偏压,有一个进气口和一个出气口,其特征在于以贵金属组合件为靶材,导电难熔材料为工件,其导电难熔材料为钛合金、铌合金、钨钼合金、石墨或碳化物。制备过程中沉积室气压为0.01Pa-30Pa,工件电压为-100V~-300V,靶材电压为-600V~-1200V,引发靶材元素的溅射,形成等离子区域溅射沉积;此时再通入烷气体,流量为10sccm-60sccm,沉积0.5-5h,工件表面可获得贵金属-碳复合薄膜,其厚度为100nm~50μm。 【专利类型】发明申请 【申请人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】215400 江苏省太仓市城厢镇人民南路162号 【申请人地区】中国 【申请人城市】苏州市 【申请人区县】太仓市 【申请号】CN201210246211.4 【申请日】2012-07-16 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103540901A 【公开公告日】2014-01-29 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C14/34; C23C14/06; C25B11/08 【发明人】陈照峰; 吴王平 【主权项内容】一种催化电极复合薄膜,其特征在于该薄膜由贵金属颗粒与碳颗粒相互嵌套组成。 【当前权利人】苏州宏久航空防热材料科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省太仓市城厢镇人民南路162号 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320585585561523G 【引证次数】8.0 【他引次数】8.0 【家族引证次数】8.0

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