【摘要】 本发明涉及一种MEMS扫描探头，包括基座(1)、光纤(2)、透镜(3)、柔性双金属结构(8)、微镜底座(7)、以及设置在微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)，各个部件按照本发明的设计要求相互进行连接，其中，微镜底座(7)下表面上与基座(1)最接近的边和基座(1)的端部对设置于微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)的自倾斜状态进行了限位；本发明设计的MEMS扫描探头在实现MEMS微镜在自倾斜状态的基础上，能够方便、准确的控制MEMS微镜的自倾斜角度。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡微奥科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214135 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210519608.6 【申请日】2012-12-06 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103033929B 【公开公告日】2014-11-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103033929B 【授权公告日】2014-11-26 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】G02B26/08; G02B26/10 【发明人】陈巧; 谢会开; 周亮; 丁金玲 【主权项内容】一种MEMS扫描探头，包括基座(1)、光纤(2)、透镜(3)、微镜底座(7)、以及设置在微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)，其中，基座(1)的下表面沿其轴向方向设置有两端开口的光学定位槽(6)；光纤(2)设置在光学定位槽(6)内；通过设置在光学定位槽(6)内的透镜定位槽(9)，将透镜(3)设置在光纤(2)的一端；其特征在于：还包括柔性双金属结构(8)，微镜底座(7)的一边通过柔性双金属结构(8)与基座(1)上靠近透镜(3)的端部相连接，其中，柔性双金属结构(8)的两端分别连接基座(1)端部的上表面和微镜底座(7)的上表面；柔性双金属结构(8)使得设置于微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)处于自倾斜状态，与光学定位槽(6)实现光学对准，且微镜底座(7)下表面上与基座(1)最接近的边和基座(1)的端部对设置于微镜底座(7)下表面的MEMS微镜(4)的自倾斜状态进行了限位。。 【当前权利人】无锡微文半导体科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号B2-305 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320214560327474W 【家族引证次数】6.0

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