【摘要】 本发明公布了一种双工作模式MEMS光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的MEMS微镜固定于所述主体基座前端；第一透镜组件固定与所述主体基座一侧，其通过MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。本发明采用双透镜组件进行探头组装，用一个MEMS微镜便可实现两种工作模式，结合OCT成像系统可用于人体内多种器官的腔道的扫描成像并作出诊断，或用于工业领域和其它检测测量领域。 【专利类型】发明授权 【申请人】无锡微奥科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】214135 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室 【申请人地区】中国 【申请人城市】无锡市 【申请人区县】滨湖区 【申请号】CN201210397955.6 【申请日】2012-10-18 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103054544B 【公开公告日】2014-11-05 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103054544B 【授权公告日】2014-11-05 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】A61B1/05; G01N21/954; G01N21/88; G02B23/24 【发明人】傅霖来; 谢会开 【主权项内容】1.一种双工作模式MEMS 光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，其特征在于，所述探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的所述MEMS 微镜固定于所述主体基座前端；所述第一透镜组件固定于所述主体基座一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。 【当前权利人】无锡微文半导体科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号B2-305 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91320214560327474W 【引证次数】8.0 【被引证次数】2 【自引次数】3.0 【他引次数】5.0 【被他引次数】2.0 【家族引证次数】10.0 【家族被引证次数】11

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