【摘要】一种新型弹性椅子结构，它在椅子后面的两个椅脚上分别设有弹簧，如是，椅脚上的弹簧具有弹性、缓冲或减震的作用，如此，人们使用椅子后面的两个椅脚上设有弹簧的结构具有弹性而不易疲劳；本发明的有益效果：该结构在椅子后面的两个椅脚上分别设置有弹
【摘要】 一种防止OJ芯片碱洗时晶粒侧腐蚀的方法。涉及的是一种应用于OJ产品碱洗前晶粒表面的处理。提供一种可控制性好、工艺简单，能有效防止腐蚀现象发生的防止OJ芯片碱洗时晶粒侧腐蚀的方法。按以下步骤进行：1)、用去离子水配制KOH溶液，溶液质量比为去离子水：KOH=10：1；2)、将配置的碱溶液加热至50-110℃，保温；3)、将所述芯片置于恒温槽中，芯片表面析出气泡，反应1-20分钟后气泡变少后取出晶片用清水冲洗、晾干；4)、对芯片的顶面和底面镀覆镍金层；5)、碱洗，完毕。本发明大大降低晶粒在后续碱洗制程中Si与碱的反应速率，最终实现防止OJ晶粒碱洗时侧向腐蚀的现象。 【专利类型】发明授权 【申请人】扬州杰利半导体有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请号】CN201210180846.9 【申请日】2012-06-04 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102664149B 【公开公告日】2014-07-16 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102664149B 【授权公告日】2014-07-16 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L21/306 【发明人】裘立强; 王毅; 游佩武 【主权项内容】1.一种防止OJ芯片碱洗时晶粒侧腐蚀的方法，其特征在于，按以下步骤进行： 1)、用去离子水配制KOH溶液，溶液质量比为 去离子水：KOH=10：1-10； 2)、将配置的碱溶液加热至50-110℃，保温； 3)、将所述芯片置于恒温槽中，所述恒温槽中设有配置的碱溶液，芯片表面析出气泡，反应 1-20分钟后气泡变少后取出芯片用清水冲洗、晾干； 4)、对芯片的顶面和底面镀覆镍金层； 5)、碱洗，完毕。 【当前权利人】扬州杰利半导体有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【专利权人类型】有限责任公司(自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】91321003689176902H 【引证次数】3.0 【他引次数】3.0 【家族引证次数】3.0
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