【摘要】 一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置。涉及一种OJ(Open Junction)二极管酸处理后的去离子水震荡冲洗装置。提供了一种同步导入高频震荡，使得二极管产生震动和轴向转动，达到有效冲洗死角的二极管酸处理后的震荡冲洗装置。所述二极管酸处理后设置在酸洗盘上，所述震荡冲洗装置包括底座、冲洗头、水槽和震荡装置，所述酸洗盘设在所述水槽上，所述冲洗头设在所述酸洗盘上方；所述震荡装置设在所述水槽的一侧，所述震荡装置包括振子、支架和弹簧，所述振子设在所述支架上部中间位置。本发明结构简单、制造成本低，振动、冲洗效果明显。 【专利类型】发明授权 【申请人】扬州扬杰电子科技股份有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】225008 江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【申请人地区】中国 【申请人城市】扬州市 【申请号】CN201210180785.6 【申请日】2012-06-04 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102664157B 【公开公告日】2014-07-30 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102664157B 【授权公告日】2014-07-30 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01L21/67; B08B3/02 【发明人】王永彬; 王毅 【主权项内容】一种二极管酸处理后的震荡冲洗装置，所述二极管酸处理后设置在酸洗盘上，其特征在于，所述震荡冲洗装置包括底座、冲洗头、水槽和震荡装置，所述酸洗盘设在所述水槽上，所述冲洗头设在所述酸洗盘上方；所述震荡装置设在所述水槽的一侧，所述震荡装置包括振子、支架和弹簧，所述振子设在所述支架上部中间位置；所述支架具有支撑板和立板，相互间构成L形；所述支撑板水平地设在所述水槽的内侧、且高于所述水槽顶缘高度；所述酸洗盘的外侧搁置在所述水槽的外侧顶缘、内侧搁置在所述支撑板朝向所述水槽的顶缘上，使得所述酸洗盘倾斜设在所述水槽和支撑板之间；所述弹簧活动设在所述支撑板的下部。 【当前权利人】扬州扬杰电子科技股份有限公司 【当前专利权人地址】江苏省扬州市平山堂北路江阳创业园三期 【专利权人类型】股份有限公司(上市、自然人投资或控股) 【统一社会信用代码】913210007908906337 【引证次数】5.0 【自引次数】1.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】5.0 【家族被引证次数】6

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