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一种GaN衬底激光二极管的制造方法专利

时间:2026-09-21    作者:admin 点击: ( 7 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种GaN衬底激光二极管的制造方法,其包括形成GaN衬底以及依次沉积p型包覆层、p型光导层、有源层、n型阻挡层、n型光导层和n型包覆层。其中形成GaN衬底的方法包括将GaN晶片放入高温高压装置中,对GaN晶片加热的同时加压,加热温度为820~880℃,加压压力为4.1~4.6GPa,保持10~15分钟;停止加热加压,使GaN晶片恢复至常温常压;在高温高压装置中退火20~30分钟后,取出GaN晶片。该方法可以明显的减小激光二极管衬底中的晶体缺陷密度,提高激光二极管的性能和寿命。 【专利类型】发明授权 【申请人】江苏威纳德照明科技有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213342 江苏省常州市溧阳市社渚镇创新路8号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】溧阳市 【申请号】CN201210353426.6 【申请日】2012-09-20 【申请年份】2012 【公开公告号】CN102832539B 【公开公告日】2014-07-30 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN102832539B 【授权公告日】2014-07-30 【授权公告年份】2014.0 【IPC分类号】H01S5/323 【发明人】虞浩辉; 周宇杭 【主权项内容】一种GaN衬底激光二极管的制造方法,包括如下步骤,首先形成GaN衬底,其次在衬底上依次沉积了p型包覆层、p型光导层、有源层、n型阻挡层、n型光导层和n型包覆层,其特征在于,形成GaN衬底的方法包括如下步骤:(1)在常温常压下,将GaN晶片放入高温高压装置中,在高温高压装置中加入传压介质,该传压介质为NaCL和液氮;(2)对GaN晶片加热的同时加压,加热至温度为820~880℃,加压至压力为4.1~4.6GPa,保持10~15分钟;(3)停止加热,使GaN晶片冷却至常温;同时缓慢卸压,使GaN晶片恢复至常压;卸压速度为0.5~0.8GPa/分钟;(4)在高温高压装置中退火20~30分钟后,取出GaN晶片。 【当前权利人】江苏威纳德照明科技有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市溧阳市社渚镇创新路8号 【专利权人类型】有限责任公司(中外合资) 【统一社会信用代码】913204815538061940 【引证次数】4.0 【他引次数】4.0 【家族引证次数】4.0 【家族被引证次数】3

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