【摘要】本发明所公开的是一种采用金属基片制备垂直GaN基LED芯片的设备,包括计算机信息采集控制器、反应室、金属基片装料室、气相金属有机物供应装置、氮气和或氢气和或氨气供应装置、ECR等离子体源供应装置、真空度计量器、反射高能电子衍射仪与荧
【摘要】 本发明涉及一种原子能级石墨加热器,具有圆柱形石墨加热筒体(1),开设在石墨加热筒体(1)壁面上的通槽(2);所述石墨加热筒体(1)的底部连接有2个外置于石墨加热筒体(1)的电极脚(3)。本发明电极脚不占用石墨加热器的空腔;且能够使石墨加热器更好的固定放置;使石墨加热器的加热容积和加热效率更大,更高。 【专利类型】发明申请 【申请人】常州市立新石墨有限公司 【申请人类型】企业 【申请人地址】213102 江苏省常州市武进区遥观镇薛墅巷村 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210362792.8 【申请日】2012-09-25 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103668469A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C30B35/00 【发明人】吴建洪 【主权项内容】一种原子能级石墨加热器,具有圆柱形石墨加热筒体(1),开设在石墨加热筒体(1)壁面上的通槽(2);其特征在于:所述石墨加热筒体(1)的底部连接有2个外置于石墨加热筒体(1)的电极脚(3)。 【当前权利人】常州市立新石墨有限公司 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区遥观镇薛墅巷村 【专利权人类型】有限责任公司 【统一社会信用代码】91320412250963360L
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