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石墨舟专利

时间:2026-09-21    作者:admin 点击: ( 0 ) 次

【摘要】 本发明涉及一种PECVD设备的技术领域,尤其是一种石墨舟。其包括舟体、石墨片、插孔、硅片放置区和陶瓷棒,舟体上设有石墨片,石墨片上设有插孔和硅片放置区,插孔内设有陶瓷棒,硅片放置区为镂空型。这种石墨舟结构简单、紧凑并且合理,装配方便快捷,连接可靠,提高了使用的安全性,镀膜沉积快,提高了生产效率,同时提高了镀膜的质量,大大提高了石墨舟工作的可靠性,易于使用推广。 【专利类型】发明申请 【申请人】沈文伟 【申请人类型】个人 【申请人地址】213000 江苏省常州市武进区湟里镇西鲁村委施公庄34号 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】武进区 【申请号】CN201210217045.5 【申请日】2012-06-28 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103510075A 【公开公告日】2014-01-15 【公开公告年份】2014 【IPC分类号】C23C16/458 【发明人】沈文伟 【主权项内容】一种石墨舟,包括舟体(1)、石墨片(2)、插孔(3)、硅片放置区(4)和陶瓷棒(5),其特征是,舟体(1)上设有石墨片(2),石墨片(2)上设有插孔(3)和硅片放置区(4),插孔(3)内设有陶瓷棒(5)。 【当前权利人】沈文伟 【当前专利权人地址】江苏省常州市武进区湟里镇西鲁村委施公庄34号

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