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一种制备单层六角氮化硼的方法专利

时间:2026-09-20    作者:admin 点击: ( 2 ) 次

【摘要】 本发明公开了一种制备单层六角氮化硼薄膜的方法,属于薄膜材料制备领域。其主要原理为:在真空环境中或保护气体环境中,在基底(1)上蒸镀金属薄膜(2)。加热基底和金属薄膜至700至1200K。通入含有氮和硼的气体(3)。利用金属气体(3)的催化作用在金属表面形成单层氮化硼薄膜(4)。之后将整个样品冷却到室温。利用腐蚀性溶液腐蚀金属,实现单层氮化硼薄膜(4)和基底(1)的分离。通过此方法可以廉价快速清洁地制备单层氮化硼薄膜材料。 【专利类型】发明申请 【申请人】董国材 【申请人类型】个人 【申请人地址】213000 江苏省常州市天宁区中吴大道兰陵尚品8幢甲单元1002 【申请人地区】中国 【申请人城市】常州市 【申请人区县】天宁区 【申请号】CN201210328090.8 【申请日】2012-09-01 【申请年份】2012 【公开公告号】CN103668106A 【公开公告日】2014-03-26 【公开公告年份】2014 【授权公告号】CN103668106B 【授权公告日】2016-01-20 【授权公告年份】2016.0 【IPC分类号】C23C16/34; C30B25/00; C30B29/38 【发明人】董国材 【主权项内容】本发明公开了一种制备单层六角氮化硼薄膜的方法。包括:基底材料(1)、金属薄膜(2)、含氮原子硼原子的气体(3)、单层氮化硼薄膜(4)、气体分解后的剩余分子或原子(5)、其特征为:在真空环境中或保护气体环境中,在基底(1)上蒸镀金属薄膜(2);加热基底和金属薄膜至700至1200K;通入含有氮和硼的气体(3);利用金属气体(3)的催化作用在金属表面形成单层氮化硼薄膜(4);之后将整个样品冷却到室温;利用腐蚀性溶液腐蚀金属,实现单层氮化硼薄膜(4)和基底(1)的分离;通过此方法可以廉价快速清洁地制备单层氮化硼薄膜材料。 【当前权利人】董国材 【当前专利权人地址】江苏省常州市天宁区中吴大道兰陵尚品8幢甲单元1002 【引证次数】7.0 【被引证次数】3 【他引次数】7.0 【被他引次数】3.0 【家族引证次数】7.0 【家族被引证次数】3

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